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用反应溅射法在Ar+N2混合气氛中制备了软磁性铁氮膜,并对样品进行了真空退火热处理。考察了制备条件和热处理对铁氮膜的微结构和软磁性能的影响。发现氮气的加入导致了晶粒尺寸减小和软磁性能改善,还能抑制热处理过程中的晶粒生长。 相似文献
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简要回顾了磁头用薄膜材料的晚近发展。用射频溅射制备了软磁性纯铁膜并考察了溅射条件和真空退火对铁膜微结构和磁性能的影响。所有铁膜都是取向的。随着阳极电压VA的增大。晶格变形变量减小,矫顽力HC下降。 相似文献
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在真空度10^-2Pa以上的条件下对溅射FeSiAl膜进行了两小时真空退火热处理。发现样品的相结合并未因此而改变,但热处理过程中的晶粒长大和应力消除明显改善了溅射膜的软磁性能。 相似文献
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对惠州建设花园城市的探讨惠州市规划局总工程师肖春涛代生态型花园城市,应该是以生态学为指导,以植物为主体,以城乡总体为对象,建立一个完善的、多功能的良性循环的城乡人工生态系统,这种以生态健全、环境优美为目标的“花园城市”的建设,既是当今世界现代城市发展... 相似文献
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溅射FeZrN薄膜的结构和磁性能 总被引:2,自引:0,他引:2
用射频溅射法在Ar+N2混合气氛中制备了FeZrN膜,研究了制备条件及退火温度对样品结构磁性能的影响。样品膜均由取向的α-Fe小晶粒组成。Zr的添加有效地抑制了FeZrN膜中Fe4N相的生成,而Zr和N的加入不公有利于减小晶粒尺寸,而且能抑制磁性初生层的生长,改善了软磁性能的稳定 相似文献
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用射频溅射法在Ar+N2混和气氛中制备了Fe90Ta10-N膜,发现Ta的添加改善了磁性能的热稳定性,而且对Fe4N相的生成有明显的抑制作用,另一方面,Ta的加入在Fe晶格中造成了较大的晶格膨胀,使α-Fe(110)面内和总各向异性能变得很大,以致于不能获得很低的矫顽力。 相似文献
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