铸造多晶硅中氧的热处理行为研究

研究了铸造多晶硅中不同温度单步退火下氧沉淀的形成规律。实验发现，单步热处理工艺下铸造多晶硅中氧沉淀的形成规律和单晶硅的基本相似，但是在铸造多晶硅中形成氧沉淀的量明显高于直拉单晶硅中氧沉淀的量；在含高密度位错的单晶硅中形成氧沉淀的量远高于无位错单晶硅中氧沉淀的生成量，而有晶界的多晶硅中形成氧沉淀生成量仅稍微高于无晶界单晶硅中氧沉淀生成量。以上结果表明，铸造多晶硅中位错对氧沉淀的形成有明显的促进作用，而晶界则对氧沉淀的促进作用不是很显著。最后，基于实验结果讨论了铸造多晶硅中初始氧浓度，位错和晶界对氧沉淀影响的机理。     

一种新的HomePNA网络动态带宽分配算法

基于同轴的家庭电话线网络联盟(HomePNA)3.0网络是一个上下行共享同一频段,使用同步媒体接入控制(SMAC)或异步媒体接入控制(AMAC)方式工作的系统.为保障视频、语音和数据等多业务的服务质量(QoS)特性,文章提出了一种新的动态带宽分配算法,即高优先级业务基于流的带宽预留和低优先级业务基于流量统计的上行带宽分配.给出了模型和仿真结果,证明了这种算法的正确性.     

铸造多晶硅中热施主形成规律

采用四探针电阻率测试仪和傅立叶红外光谱测试仪，研究了铸造多晶硅中热施主的形成规律。实验发现，初始氧浓度高、位错密度高、碳含量低的样品中，所形成的热施主浓度较高。这表明：碳对热施主的形成有抑制作用；位错对热施主的形成有促进作用；晶界对热施主的形成没有明显地影响，而且碳和初始氧浓度的影响最大。实验还发现，在650℃,0.5h退火处理可以消除部分原生热施主，原生热施主对于随后的热施主的形成规律没有明显影响。