As离子注入形成硅化钨的研究

大规模集成电路的发展使集成度不断提高,器件尺寸减小,线条变窄。现常用的多晶硅栅和互连,由于电阻率高,限制了集成电路的速度。近年发展起来的硅化物材料,因其电阻率低、稳定性好、自对准性能好而常被用作大规模集成电路中的欧姆接触,互连和肖特基势垒。     

使用X光聚束系统的X射线荧光分析研究

复合光导管组成的Ｘ光透镜可将发散的Ｘ光束聚至直径φ０．５ｍｍ，聚束后的功率密度增加１０＾４倍，这种新型的Ｘ光透镜已用于Ｘ射线荧光分析研究，使用Ｘ光管功率仅２Ｗ，而探测限可达１０＾－９－１０＾１０ｇ．     

γ产生数据的评价问题

本文简要介绍了中子能区为热能—20兆电子伏总的次级γ产生数据及评价概况。在兆电子伏能区对Fe和Al的数据作了典型评价的基础上,对各能区数据的评价和推荐问题提出了具体意见。     

As离子束混合形成硅化钨的卢瑟福背散射分析

本工作用卢瑟福背散射研究了离子束混合方法形成硅化钨的条件。通过对热烧结和离子束混合法的比较,结合X射线衍射分析相结构的结果,指出离子束混合法可降低形成二硅化钨所需的退火温度。观察到氧杂质对形成条件的影响,简单讨论了离子束混合形成硅化物的机理。     

二硅化钨形成、结构和电性质的研究

本文报道用As离子束混合形成WSi_2的结构和电性质的研究结果。指出在衬底温度350℃下注入,WSi_2的形成温度可大大降低.WSi_2薄膜电阻率随后退火温度的变化与微结构有关.淀积薄膜过程中引入的氧杂质限止晶粒生长,影响WSi_2薄膜的电阻率.观察到退火过程中氧杂质和注入As离子的再分布和严重丢失.进一步讨论了离子束混合形成硅化物的机理.     

可调节的棘轮脚蹬装置

课题开发设计了一种新颖的脚蹬装置.新颖设计特点是可调节性.实现功能的核心是棘轮.装置的主要组成有三角形外壳、棘轮、偏心轴、重块等.主要用途配置在人力车上.设计要点是三种状态的可调节性动态调节作用点增加力臂长度;常态调整运动半径;静态平衡调重.通过计算,在动态调节作用下的分析结果表明可省力40%,增加做功能力53%,用力不做功的死点消失了.脚蹬运动半径的最大调整率13.3%.在设计中运用人机工程学的概念,开发思维用于实践,为教学服务.     

计算机开放实验室网络计费系统的设计与实践

提出了用网络计费功能来均衡计算机开放实验室的网络流量,改善校园网性能的一种网络管理方法。根据计算机开放实验室用户流动性强的特点,设计了基于代理服务器数据采集方式的网络计费系统,着重介绍了网络计费软件的实现,以及其关键技术DLPI网络编程接口。     

利用背散射方法测量整体X光透镜的性能

为了避免探测系统的死时间问题,采用有机玻璃刀口作为散射体来降低探测系统死时间.通过分析来自有机玻璃散射体的背散射谱,测量了不同能量X射线在透镜会聚光束中的空间分布,为分析"光晕(halo)"现象提供了能谱依据,在此基础上,系统地分析了"halo"现象.在大能量范围内,分别利用轴向扫描法和刀口扫描法测量了透镜出口焦距、发散度及焦斑大小与能量的关系.利用背散射方法测量透镜焦斑直径时的相对误差在3%以内;利用轴向扫描法确定透镜出口焦距时的绝对误差在-120-120μm之间.     

使用X光透镜的XRF谱仪的研究进展

使用外径为２００μｍ的复合导管组装的Ｘ光透镜。可将发散的Ｘ光束聚成直径为２５０μｍ的微束。测量了透镜的能谱特性，选择不同范围能谱特性的透可改善ＸＲＦ谱对个别元素的探测极限。与最佳几何但不带透镜的ＯＭＩＣＲＯＮ微束荧光谱仪比较表明，带透镜的ＸＲＦ谱仪对中重元素的分析灵敏度提高了近１０倍。     

利用整体毛细管X光半会聚透镜会聚同步辐射

为了进一步开展基于整体毛细管X光半会聚透镜和同步辐射的微区X射线分析,利用整体毛细管X光半会聚透镜和超环面镜的组合会聚了同步辐射。在8 keV能量点,利用超环面镜,将面积为2.3 mm×26 mm,竖直发散度和水平发散度分别近似为0和1.1 mrad的同步辐射光束会聚为面积为0.9 mm×0.3 mm,水平和竖直发散度分别为1.4 mrad和0.1 mrad的束斑,然后利用整体毛细管X光半会聚透镜将束斑会聚成直径为21.4μm的微焦斑,该整体毛细管X光半会聚透镜对束斑的传输效率为7.9%,该透镜焦距和焦斑处单位面积上的强度(功率密度)增益分别为13.3 mm和59。