三坐标测量机测头系统的检定

以触发开关式电子测头系统为例，叙述三坐标测量机测头系统的检定项目与方法。     

CCD器件几何尺寸的一种高精度的测量方法

本文提出了一种CCD器件几何尺寸高精度测量的方法。并着重论述了CCD器件测量的目的、测量方案的选择、具体的测量方法及对测量数据进行了总结及分析。