新型双边驱动式薄型直线超声波电机

简述了面内振动式超声电机发展过程,设计了一种新型的双边驱动面内振动式直线电机,该电机利用不对称面内振动实现动子在导轨上的直线运动。通过有限元分析确定电机尺寸,制作样机并对其进行测试。实验结果与理论设计一致,在驱动电压110 V、驱动频率179.3 kHz的条件下,得到电机最大速度为30 mm/s,最大输出推力约为0.5 N。