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准分子激光直接刻蚀单晶硅研究 总被引：1，自引：0，他引：1
与传统的投影曝光微细加工方法相比,激光直写具有高柔性、低成本和胜任三维微型结构加工的优点。采用非稳腔的聚焦准分子激光（ＫｒＦ,λ＝２４８ｎｍ）对单晶硅材料进行直接刻蚀,从微结构刻蚀的形状尺寸及加工过程的热效应等方面研究了准分子激光直接刻蚀单晶硅的加工特性。重点考察了加工中的热效应,研究表明准分子激光与被加工材料的相互作用并非完全基于非热机理,加工过程亦有热作用参与,进一步提出了准分子激光刻蚀加工的 相似文献
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