一种测量Si/SiO2界面残余应力的微结构应变计

借鉴工程力学中测量残余应力的盲孔法,给出了一种测量半导体氧化工艺中形成的硅-二氧化硅界面残余应力的微结构应变计,并对其测量结果作了讨论.     

基于 S3C2440 的 Uboot 分析与移植

首先根据对Uboot的结构功能和启动分析,提出了一种基于s3c2440大容量Nand Flash和Nor Flash的移植方案,然后通过多步的移植,完善各个功能模块。最终在Uboot下,使用NFS方式成功加载内核和文件系统,详细给出了Uboot移植方法。     

一种低噪声的光电二极管阵列接口电路的设计

由于光电二极管阵列的暗电流以及后续处理电路的噪声对其信号输出有很大影响,所以设计了一种低噪声的光电二极管阵列接口电路.接口电路将感光二极管阵列和补偿二极管阵列输出的信号经过积分放大处理后再进行差动放大,降低瞬态干扰和暗电流噪声对输出信号的影响.对视频信号和无信号状态分别进行采样和保持,同时触发多次模数转换信号,以利于数据采集和降噪处理.测试结果表明,以上措施有效降低了光电二极管阵列输出信号的噪声.     

基于CCD的双光束多波长紫外可见吸收检测器

由于传统的多波长紫外可见吸收检测器无法克服光源波动造成的噪声和漂移,故设计开发了一种基于CCD的双光束多波长紫外可见吸收检测器.光源发出的光聚焦后被分束镜分成信号光和参考光,信号光射入到样品检测池中.从样品检测池中出射的信号光经过斩光器聚焦在狭缝上,被凹面光栅分光成像于CCD的一部分光敏面上.参考光在CCD的另一部分光敏面上分光成像.在光路系统和外围电路的辅助配合下,可以用一片CCD实现信号光谱,参考光谱和暗电流的精确测量.由于采用参考光光谱和CCD暗电流对信号光谱进行实时补偿,可以使基线短期噪声降低为1×10-5 AU,漂移降低为1×10-4 AU/h.     

基于自适应噪声抵消的光电二极管阵列检测器

由于普通光电二极管阵列检测器(PDAD)无法克服光源波动造成的影响,设计开发了一种采用自适应噪声抵消技术的PDAD。该检测器采用分光镜实现光的分束和合束,采用凹面光栅实现分光系统,PDA作为光电接收元件。在斩光器和后续电路的配合下,实现了在同一PDA上信号光光谱、参考光光谱和暗电流的分时测量。由于采用参考光的吸光度信号对样品光的吸光度信号进行自适应噪声抵消,可以有效降低光源光强波动的影响,使基线短期噪声降低1×10-5AU,漂移降低为1×10-4AU/h。     

基于USB的光电二极管阵列数据采集系统

介绍了一种基于USB的光电二极管阵列数据采集系统的设计方案。系统以DSP作为核心，光电二极管阵列的曝光时间和模拟处理电路增益程序可调，采用16位高精度高速模数转换器完成对光电二极管阵列视频信号的精确测量。DSP将采集到的视频数据通过USB接口实时传输给上位计算机，由其来完成视频数据的处理、显示和存储。     

热量表的流量自动标定系统的设计

为了实现热量表的流量自动标定和提高标定效率,采用高精度的称重法设计了热量表的流量自动标定系统。     

气压和流速对微热板气体传感器的影响

微热板具有加热功耗低和热电动态响应快的优点,是集成气体传感器等微传感器的核心部件.通过实验测定,介绍气压和流速对微热板气体传感器性能的影响.     

双光束光电二极管阵列检测器的设计

由于普通光电二极管阵列检测器无法克服光源波动造成的影响,故设计开发了一种双光束光电二极管阵列检测器。该检测器采用光导纤维束将光源发出的光分成两束,在斩光器的调制下分时射入样品吸收池和参比吸收池。透射出的光信号通过光导纤维束射到狭缝上,被凹面光栅分光成像于光电二极管阵列上。在斩光器和后续电路的配合下,实现了在同一个光电二极管阵列上信号光光谱、参考光光谱和暗电流的分时测量。由于采用参考光光谱和光电二极管阵列暗电流对信号光谱进行实时补偿,可以使基线短期噪声降低为1×10-5AU,漂移降低为1×10-4AU/h。