排序方式： 共有1条查询结果，搜索用时 0 毫秒
1
1.
针对外弹道信息测量过程中,低量程微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)加速度传感器在上万gn过载环境下的损坏问题,提出了一种仿虾螯式抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载30 000gn、量程50gn的指标要求。有限元仿真结果表明,在50gn载荷作用下,加速度计敏感单元位移为0.99μm,灵敏度为0.124 pF/gn;引入仿虾螯式抗冲击缓冲结构的加速度传感器在30 000gn过载作用下承受的等效应力的最大值从1 022.5 MPa降低至84.326 MPa,有效地提高了该传感器件的可靠性。 相似文献
1