菲涅耳微透镜芯模表面形貌的检测及加工误差分析

采用扫描白光干涉法对菲涅耳微透镜芯模表面浮雕结构进行了检测,并对元件表面微观形貌进行了三维重建.根据其表面形貌数据,引入幅度参数表征法,分别计算出横向线宽误差以及样品的系统刻蚀深度误差和随机刻蚀深度误差等纵向加工偏差.通过表面高度分布的偏斜度、表面高度分布的峭度等参数获得了有关微芯模表面误差和缺陷的量化信息.实验研究表明,扫描白光干涉法能精确定量化表征微芯模表面形貌特征,这对探索适用于新型微光学器件表面三维形貌误差的无损检测评价方法具有实际意义.     

基于光束偏转层析技术的三种Radon变换迭代法

本文通过计算机模拟研究,利用气体温度场的先验知识,考查了用光束偏转层析技术重建三维温度场的基于卷积反投影的三种Radon变换迭代法。作为一种应用实例,测试了某截面上的气体温度分布,并与热电侧测量的值进行了比较。     

定点DSP实现高精度FIR数字滤波

研究在电力校表系统中应用定点DSP对交流电压、电流信号进行测量，因为是校准仪表，所以要求测量结果具有高精度和高稳定度；采用了高效的FIR滤波算法，并对FIR滤波算法进行了大量的补充和改进，使FIR滤波算法能够消除信号在外界干扰情况下形成的尖峰信号以及解决了信号的零漂问题，使得对交流电压、电流的测量准确、稳定，使测量结果精度在0.02％以内，达到了世界先进水平。     

实用新型光纤磁场强度传感器

在高压电气系统中 ,磁场的检测是非常重要的。新型实用光纤磁场传感器应用了现代光通信系统中的新型磁光晶体、准直器、带尾纤的半导体激光器、耦合器等多项技术 ,使传感器不仅结构紧凑 ,而且具有良好的抗震性能和测量准确度     

定点DSP的数据采样处理系统

介绍一个实用的数据采样处理系统。系统采用了调整数据处理定点DSP芯片——TMS320F206，用两片ADS7805对电压、电流进行采样，采样后用定点DSP进行FIR滤波处理。用FIR滤波算法来消除信号在外界干扰情况下形成的尖峰信号以及解决信号的零漂问题，使得对电压、电流的有效值测量准确、稳定；把算法处理后的结果存到双口RAM的一口，再由上层系统在另一端口取走，这样形成一个完整的系统。在数据采集处理方面具有很高的参考价值。     

以光敏树酯作为转印介质用于软基片光栅的复制

提出了以光敏树脂作为转印介质，利用软基片母栅将光栅直接复制或传递到工件表面的光栅复制法。这种全息光栅的复制工艺不同于硬基片光栅的“真空镀膜一次法”；也不同珩模压复制法，无需多代复制，工艺简便，复制时软基片母栅通过光敏介质与工件表面结合均匀性较好，并可复制到园柱面工件上。     

亚微米深度位相型衍射光栅的研制及其失效分析

提出了一种亚微米深度的纯位相型玻璃衍射光栅制作工艺,采用光刻制栅方法对要制作的光栅结构进行了分析;用AUTOCAD绘图软件绘制光栅的排列布局以及MATLAB软件对设计出的图案进行衍射图样模拟,在基于数字微镜的光刻机上进行曝光,由涂覆光刻胶的铬玻璃上得到缩微图案;观察了单色激光的夫琅禾费光栅衍射图样,以确定最终的设计图案;用电子束刻蚀方法得到的铬掩膜板进行常规光刻工艺处理,得到纯位相型的衍射光栅,最后通过对衍射光栅的衍射图案的失效性分析确定最佳的光刻工艺。结果表明:利用光刻制栅方法不仅可以在玻璃上制得纯位相型光栅,同样也可以在硅片、金属等其他基底上制得光栅或其他光学重复单元,方法可行,且材料成本不高。