磨料对蓝宝石衬底去除速率的影响

蓝宝石晶体已经成为现代工业,尤其是微电子及光电子产业极为重要的衬底材料,提高其化学机械抛光效率是业界无法回避的问题。在CMP系统中,磨料是决定去除速率及表面状态的重要因素。分析了化学机械抛光过程中抛光液中磨料的作用以及抛光机理,在确保表面状态的基础上,研究了抛光液中磨料体积分数、粒径和抛光液的黏度对速率的影响,指出纳米磨料是蓝宝石衬底抛光的最佳磨料。选用合适的磨料体积分数、粒径及抛光液黏度,不仅获得了良好的去除速率,而且有效地解决了表面状态方面的问题。     

基于GPS-RTK测量技术的地籍测量研究

GPS-RTK技术具备空间定位精准度高、测量性能稳定的特征,应用到地籍测量当中十分广泛,文章从GPS-RTK技术原理分析着手,探究了GPS-RTK技术在地籍测量当中的最主要应用,研究了测量精度的控制,由此将扩大GPS-RTK技术的应用范围,将地籍测量的效率有效提高。     

碱性条件下硬盘NiP基板抛光速率正交试验分析

利用单面抛光机和SiO2碱性抛光液进行了以硬盘NiP基板CMP去除速率为考核指标的工艺试验.针对抛光速率是受各个工艺因素共同影响这一特性,应用正交试验方法分析了CMP中5个重要工艺参数(抛光压力、抛光液流量、抛光盘转速、抛光液浓度,氧化剂质量分数)对硬盘NiP基板抛光去除速率的影响规律,并结合抛光机理对其进行了分析.试验分析表明,抛光压力为0.2 MPa,抛光液流量为500 mL/min,抛光盘转速为50 r/min,磨料质量分数为20%,氧化剂体积分数为0.3%时,可以得到较高的抛光速率,为740 nm/min.     

基于图像识别低成本集成化土石坝安全信息采集系统

基于图像识别技术,高效、集成化采集土石坝安全相关的外观变形、水库水位、渗流渗压、巡视检查等信息,并自动处理、分析,分类决策、预警。通过程控拍摄系统,获得高分辨率图像,自动传输后台,识别图像上的位移、水位、巡视检查等安全信息,然后自动分析、评价,自动分类处理。此系统能够可靠、低成本地服务于我国数量庞大的中小型土石坝安全,为应对行业安全风险奠定基础。     

基于三视张量的序列影像特征匹配

影像特征匹配是三维重构、图像分割、运动跟踪中的关键步骤。然而,传统匹配方法错误率较高,不利于后续工作的操作。本文对三视张量进行了研究,将其用于序列影像的点、线匹配,并通过试验证实了该方法能有效提高点、线匹配的正确率。