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真空镀膜机是全玻璃真空集热管生产中的重要设备之一,而直流磁控溅射镀膜机在目前太阳能行业中使用最为普遍,但因其真空系统阀门多、密封点多,在实际生产过程中能否快速检漏、确定漏点的精确位置,是直接影响膜层结构性能是否优良和生产效率的关键因素。 相似文献
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