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本文报道了利用单靶磁控非反应及反应溅射技术在玻璃或塑料上制备TiO_x/Ti及AlNx/Al控光膜的试验结果。在0.35-2.5微米波长范围内测定了TiO_x/Ti/玻璃及AlN_x/Al/玻璃控光膜的透过率和反射率,结果与理论计算基本一致。由实验结果计算了控光膜系的太阳光透过率T_s、遮荫系数SC、可见光区平均透过率T_v、可见光区的最大透过率T_(vmax)及膜的室温发射率ε。结果表明,TiO_x/Ti膜系的透过率没有明显的选择性,它能抑制太阳光的进入,可用于交通工具。AlN_x/Al膜系有较好的光谱选择性和低的室温发射率,适于作建筑上的控光膜。 相似文献
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