FIB与PEM联用在半导体器件失效分析中的应用

在半导体器件的失效分析中,缺陷定位是必不可少的重要环节.光发射显微镜(PEM)是IC失效定位中最有效的工具之一.PEM利用了IC器件缺陷在一定条件下的发光现象,迅速定位缺陷.而聚焦等离子束(FIB)的定点切割和沉积技术在亚微米级半导体工艺失效分析中扮演着越来越重要的作用.介绍了一种联合使用FIB和PEM进行亚微米级缺陷定位的新方法,使得一些单独使用PEM无法完成缺陷定位的案例得以成功解决.     

单个液滴蒸发模型中不同质量传递公式的有效性分析

液滴蒸发是液体喷雾的重要物理过程,文献中使用了不同的模型计算液滴蒸发中的质量流率。依据质量传递驱动力HM的处理,可将这些模型归类于三种不同形式,即经典模型、质量类比模型和漂移流动模型。本文对这些模型的来源和假设作了分析和总结,发现漂移流动模型考虑了Stefan效应和质量迁移,应为正确的表述,而经典模型忽略了瞬态效应,质量类比模型忽略了Stefan流效应。最后以两种不同蒸发率条件下的液滴蒸发为例进行计算,研究了不同质量传递驱动力对液滴蒸发的影响, 发现经典模型和质量类比模型都对液滴的蒸发估计过低,且高蒸发率下三种模型对液滴蒸发特性的影响更显著。     

柔性制造系统工艺设计的平衡性研究

主要以某新型缸盖柔性生产线工艺设计中的平衡性原则为例进行阐述,即要求工序间加工工时尽量一致,使生产过程顺畅无卡滞。引申工序的性质与分类,根据产品结构加工方式之间的相互关系对工序加工内容重新进行分配与协调,实现工序间的平衡与协调,并对其关键设备的配置、工艺布局等方面进行研究。     

某种气缸盖零件的加工工艺性设计

针对某气缸盖加工工艺流程、零件试制以及小批量生产等情况进行加工工艺性设计,着重介绍了气缸盖数控加工单元与柔性生产线的配置方案,并对其关键设备、工艺布局等方面进行了分析和设计。实际应用表明:通过不断的工艺优化与调整,有效降低了加工成本,提高了加工效率。     

基于复杂网络的文献热点挖掘及可视化

热点识别是文献分析的重要任务之一,针对专业领域的文献分析有助于研究人员快速掌握相关领域的核心问题。从图挖掘的角度利用复杂网络的社区识别技术来识别我国的林业科技文献的研究热点,并且分析这些热点之间的关联关系。以2000-2012年林业科技文献为研究对象,构建了一个文献关键词共现加权网络,从社区结构的角度分析了该网络的拓扑特性。结果显示该网络具有明显的小世界特征、无标度特征和八大社区结构。这八个社区分别对应着林业领域的八大主题研究领域,以可视化的方式展示了每个主题域由一系列的热点组成,主题域之间也呈现了疏密的关系。因此,所采用的网络分析方法可以作为科技文献推荐系统的核心方法。