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室温直流磁控溅射氮化钛薄膜研究 总被引:4,自引:0,他引:4
利用直流磁控溅射在室温下沉积出性能优良的氮化钛薄膜,研究了N2流量和偏压对氮化钛薄膜性能和结构的影响,并采用扫描隧道显微镜(STM)技术对其表面形貌进行了较为详细的研究.结果表明,随着N2流量的增加,薄膜的结构从四边型混合结构转变为面心立方 NaCl型结构,最后变为无定型结构,薄膜结构的变化也使薄膜的硬度随之发生变化;施加负偏压不仅能让薄膜中缺陷减少,使膜层变得更致密,而且还能优化氮化钛晶粒,从而获得性能优良的薄膜.从TiN薄膜的表面形貌图可知,薄膜表面平整,缺陷很少,晶粒排列非常致密,且空位及表面缺陷较少. 相似文献
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针对船厂码头吊车在运行过程中经常出现液压系统泄漏的情况,对泄漏的原因进行分析,并提出解决措施,对码头液压设备系统正常运行提供借鉴。 相似文献
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引言户内10kV少油断路器是指箱简内装的绝缘油较少,同时起着绝缘和灭弧的双重作用。一旦出现各种漏油情况,造成油面计指示看不到油位,并且箱简下部地面有很多的油迹时,即认为该断路器此相箱简内无油。此时,电气运行人员必须按运行规程的规定,立即取下该断路器的操作能源、倒方式,用母联断路器替代,由调度安排时间,用母联断路器切开负荷电流,再将严重缺油或没有油的断路器停电,进行处理和补油。而对于单元式发电机——变压器组的发电机出口断路器,母联断路器等,就得用它们上一级断路器,切开负荷电流后,才能进行该断路器停电… 相似文献
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首先采用酸催化平衡反应合成一种双氢封端的聚硅氧烷低聚物(HPDMS),然后通过HPDMS与单烯丙基封端的聚醚的硅氢化反应合成了一种聚醚嵌段聚硅氧烷二元醇,单丙基聚醚-b-聚二甲基硅氧烷-b-单丙基聚醚(EPDMS)。通过IR、NMR等分析手段对其结构和组成进行了鉴定和表征。以不同分子量EPDMS为软段,制备出一系列硅改性水性聚氨酯(P-PUD),对P-PUD接触角的研究发现,聚合物膜表面接触角随着温度的上升而增加,表明硅氧烷在聚氨酯表面的富集不充分,其原因主要是聚合物分子间相互作用与硅氧烷向聚合物表面的富集是一个竞争过程。 相似文献
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