全文获取类型
收费全文 | 80篇 |
免费 | 7篇 |
国内免费 | 7篇 |
专业分类
电工技术 | 7篇 |
综合类 | 12篇 |
化学工业 | 10篇 |
建筑科学 | 4篇 |
矿业工程 | 4篇 |
轻工业 | 7篇 |
石油天然气 | 4篇 |
武器工业 | 3篇 |
无线电 | 30篇 |
一般工业技术 | 7篇 |
自动化技术 | 6篇 |
出版年
2023年 | 9篇 |
2022年 | 6篇 |
2021年 | 2篇 |
2020年 | 1篇 |
2019年 | 2篇 |
2018年 | 7篇 |
2017年 | 1篇 |
2016年 | 2篇 |
2015年 | 1篇 |
2014年 | 2篇 |
2013年 | 4篇 |
2012年 | 5篇 |
2011年 | 1篇 |
2010年 | 8篇 |
2009年 | 5篇 |
2008年 | 7篇 |
2007年 | 2篇 |
2006年 | 4篇 |
2005年 | 3篇 |
2004年 | 2篇 |
2003年 | 1篇 |
2002年 | 4篇 |
1998年 | 3篇 |
1996年 | 4篇 |
1995年 | 1篇 |
1994年 | 1篇 |
1992年 | 1篇 |
1991年 | 2篇 |
1988年 | 1篇 |
1963年 | 2篇 |
排序方式: 共有94条查询结果,搜索用时 281 毫秒
1.
2.
3.
4.
本文采用P型单晶硅片,在三极电解槽中,进行了电化学深刻蚀的探索性实验.对湿法刻蚀和电化学刻蚀中的工艺问题进行了初步的理论和实验研究,同时,采用SEM对实验样品进行了形貌分析,并采用电流突破模型对电化学深孔刻蚀机理进行了理论分析.通过理论和实验研究,发现即使硅片晶向不准,仍能刻蚀出方孔列阵.其结果对进一步开展这方面的研究工作具有指导意义,在进一步深入开展研究电化学体硅微加工技术时,可有望成为实现硅深孔列阵加工的新技术. 相似文献
5.
6.
7.
Simulation Investigation on Particle Transmission Characteristics of Two Different Ion Barrier Films
The simulation calculation and analysis of electron transmittance and ion stopping power for ion barrier films (IBFs) of Al2O3 and SiO2 are performed by Monte Carlo methods. The interaction model between particles and solids are described. It is found that at the same conditions, the electron transmittance for SiO2 IBF is relatively higher than that of Al2O3 IBF, and the ion stopping power of SlOE IBF is relatively lower than that of Al2O3 by Monte Carlo simulations. It is also indicated that SiO2 is one of the ideal materials for fabricating IBFs. 相似文献
8.
宏孔硅阵列(MSA)在光子晶体、硅微通道板、MEMS 器件等领域应用前景广阔,引起人们广泛关注。为制备理想的MSA结构,本文开展了MSA光电化学方法腐蚀实验,重点研究了腐蚀电流密度对宏孔形貌的影响。给出了n型硅抛光片背面光照情况下在氢氟酸溶液中的电流-电压扫描曲线,讨论了临界电流密度JPS的意义和MSA稳定生长的基本电流密度条件。提出了一种间接地测量JPS与腐蚀时间关系的方法,并根据JPS的测量结果调整腐蚀电流,实现了理想的MSA等径生长,制备出孔深度为295m,长径比为98的MSA结构。 相似文献
9.
10.