非晶态TeO2／36°Y-X LiTaO3 SAW基板

研究了非晶态TeO2／36°Y-X LiTaO3 层状结构的延迟温度系数（TCD）,并计算了该结构中声表面波（SAW）的其他重要特性,如声波模式和机电耦合系数（K2）。非晶态TeO2薄膜作为一种新型具有负温度系数的材料,当将其沉积于具有正温度系数的36°Y-X LiTaO3上时,在膜厚仅为传统SiO2薄膜的1／3情况下就可实现零延迟温度系数。另外,该结构中被利用的1阶Love波模式很纯,没有和其他模式明显的耦合,而且其k2高达8．61％。故此结构是一种具有广泛应用前景的新型复合SAW应用材料。     

非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3 SAW基板

研究了非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3层状结构的延迟温度系数(TCD),并计算了该结构中声表面波(SAW)的其他重要特性,如声波模式和机电耦合系数(k2).非晶态TeO2薄膜作为一种新型具有负温度系数的材料,当将其沉积于具有正温度系数的36°Y-X LiTaO3上时,在膜厚仅为传统SiO2薄膜的1/3情况下就可实现零延迟温度系数.另外,该结构中被利用的1阶Love波模式很纯,没有和其他模式明显的耦合,而且其k2高达8.61%.故此结构是一种具有广泛应用前景的新型复合SAW应用材料.     

用改进双延迟线法测量SAW相速度

双延迟线法是测量声表面波(SAW)速度的一种优秀方法,其样品制备工艺成熟,测量和数据处理简单.从原理上消除了换能器的影响,能达到很高精度.主要测量误差源有中心频率和距离的测量误差两个.对此提出了两项改进措施,即对幅频响应数据进行数字滤波后再做插值,以减小中心频率的测量误差;结合光学显微镜大视野和扫描电子显微镜(SEM)高精度的优点,提高距离测量精度.在128°Y-X铌酸锂基片上进行了实验,测量精度达到数米每秒.     

加速度对Y型石英谐振器频率变化的影响

1引言 本文研究了Y型石英谐振器在不同支撑情况下产生的随着加速度方向变化的谐振频率的变化.首先利用石英谐振器在受到加速度力之后的应力解析解得出了不同支撑时板上每一点的应力分量以及应变分量,把所得结果带入二维的板振动方程后,再利用微小振动原理,最终得出了我们需要的频率变化量.