如何提高超纯气体输送系统的可靠性

国际半导体技术的迅猛发展，对超纯气体的要求越来越高，超纯气体输送系统是超纯气体的污染源，本文介绍如何减少超纯气体输送系统对超纯气体的污染。     

成本控制实例浅析

通过对某施工实例的两个设计方案进行比较,分析了两个方案的选用理由,并对费用差值进行了具体的比较说明,得出相应结论,指出工程施工前应对多个方案设计进行比较优化,以期合理的控制工程成本,提高经济效益。     

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以经济的投资达到满意的效果——微电子厂房管道设计施工

介绍127mm(φ5英寸)0.8～1.2μm双极电路生产线对气体、纯水的质量要求,以及如何以经济的投资达到满意的结果。