用Franz-Keldysh效应研究GaAs表面硫化学钝化

硫钝化是一种比较有效的钝化ＧａＡｓ表面的方法．本文使用Ｎａ２Ｓ、Ｓ２Ｃｌ２和ＣＨ３ＣＳＮＨ２三种化学试剂对表面本征层重掺杂层（ｓｉｎ＋）结构的ＧａＡｓ样品进行了钝化,利用光调制反射谱观察到许多个ＦｒａｎｚＫｅｌｄｙｓｈ振荡,测量出本征层的电场强度,研究了ＧａＡｓ表面硫钝化前后费米能级的变化,并且比较了各种钝化方法的钝化效果．     

微分析方法在DPA中的应用

破坏性物理分析（ＤｅｓｔｒｕｃｔｉｖｅＰｈｙｓｉｃａｌＡｎａｌｙｓｉｓ）主要是通过对电子元器件进行解剖,并进行各种物理分析,从而获得电子元器件的设计结构、材料和工艺等方面的批质量信息。在ＭＬＬ－ＳＴＤ－１５８０Ａ《电子、电磁和机电元器件破坏性物理分析...