首页
|
本学科首页
官方微博
|
高级检索
文章检索
按
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目英文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
检索
检索词:
出版年份:
从
到
被引次数:
从
到
他引次数:
从
到
提示:输入*表示无穷大
全文获取类型
收费全文
1篇
免费
0篇
专业分类
无线电
1篇
出版年
1988年
1篇
排序方式:
出版年(降序)
出版年(升序)
被引次数(降序)
被引次数(升序)
更新时间(降序)
更新时间(升序)
杂志中文名(升序)
杂志中文名(降序)
杂志英文名(升序)
杂志英文名(降序)
作者中文名(升序)
作者中文名(降序)
作者英文名(升序)
作者英文名(降序)
相关性
共有1条查询结果,搜索用时 3 毫秒
1
1.
对硅器件工艺诱生热缺陷的一种无损检测技术——XCD-H红外电视测微显微镜的应用研究
曾庆城
唐国林
胡解生
廖隆宣
《半导体技术》
1988,(4)
对半导体硅及其器件芯片中的诱生热缺陷,用XCD-H红外电视显微镜进行了无损检测.通过显微拍照和磁带录相,获得了电活性位错与堆垛层错微区金属杂质富集以及氧沉淀环状活性团等清晰的红外透视图象.结果表明,该种红外透视的系统能够提供相当重要的信息,因而将对器件工艺的质量分析,进一步提高芯片的内在质量产生有益的影响.
相似文献
1
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号