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1.
本文描述了用常规制版工艺制作1微米窄条铬掩模光刻版的各种工艺困难和解决方法。在此基础上采用一些改进措施,在常规制版工艺线上,用普通光学系统,能够重复地制作出比较均匀的1微米线宽的铬掩模。  相似文献   
2.
张仲毅 《工程力学》1997,14(2):68-71
本文给出了文献[1]认为无法找到的应力函数,求出了厚壁圆筒在二次分布压力下的弹性理论解。所导出的广义拉梅公式具有更广范的使用范围,不仅可以解释拉梅公式使用不当所引起的偏差,对有关工程问题的设计和计算也有参考价值  相似文献   
3.
陕西省安康市领导十分重视有线电视工作,积极创造条件,使有线电视建设得到了高标准、高起点和高质量的发展。  相似文献   
4.
本文给出了进行等离子腐蚀铬掩模版图形的一个典型工艺条件,并对在此工艺条件下腐蚀的铬掩模图形的实验结果进行分析,给出了等离子腐蚀中的横向腐蚀量。实验结果确证了腐蚀技术是制造超大规模集成电路和超高频功率器件掩摸版的最好腐蚀技术。  相似文献   
5.
6.
本文将着重阐述等离子刻蚀技术在制作超大规模集成电路中精细掩模的优越性及工艺原理。然后结合介绍等刻设备LFE501的特性和具体实验报告,分析等刻技术在进入实用阶段时的技术难点。最后简述一下等刻技术在掩模工艺中的应用前景和由此带来的经济效益。  相似文献   
7.
陕西省各级广播电视部门和有关单位,狠抓有钱电视事业建设.使有线电视发展速度跃居全国前列,受到了广播影视部的称赞。  相似文献   
8.
三路旋转变压器/数字转换模块接口电路设计   总被引:1,自引:1,他引:0  
介绍基于ISA总线的三路旋转变压器/数字转换模块接口电路的设计及应用.接口电路采用三个旋转变压器/数字转换模块分别控制三路测角信号的数字量转换,测角的时间周期短,精度高,且输出顺序不受硬件电路的限制,既可以三个角度同时准确输出,也可以某一个角度单路输出.接口电路已经成功应用在某平台惯导系统俯仰、横滚、航向三个姿态角的测量中,能够在平台惯导100 ms的控制周期内准确输出三个姿态角,测角精度达到10″.接口电路在测量精度和时间周期上都达到了要求.  相似文献   
9.
本文简述了目前国内一些掩模版复印设备的优点及存在问题。着重介绍我们目前制版工艺线上使用的真空软接触等压复印设备的结构、工作原理、主要特点及应注意的问题。实践证明,此种复印设备结构简易、操作方便、使用效果良好,不仅适用于掩模版的复印,也适用于硅片光刻。对克服掩模版形变,提高复印图象的均匀性、重复性、完整性,都是行之有效的,而且使主掩模版的寿命延长3~4倍。  相似文献   
10.
XK9310×2数控双铣头铣槽机是宜昌长机科技有限公司2004年专为汽车转向器行业研发的新产品。宜昌长机科技有限责任公司是由始建于1969年的国家机床工具行业重点骨干企业--长江机床厂整体改制而成。是一家以研发、制造插齿、珩齿机床、数控铣床及加工高精度蜗轮、蜗杆副和各种精密齿轮为主导产品,并拥有自营进出口权的湖北省高新技术企业和宜昌市重点培育高新技术企业。是中国  相似文献   
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