首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
文章检索
  按 检索   检索词:      
出版年份:   被引次数:   他引次数: 提示:输入*表示无穷大
  收费全文   8篇
  免费   0篇
电工技术   2篇
无线电   6篇
  2021年   1篇
  2012年   1篇
  2011年   1篇
  2010年   2篇
  2009年   1篇
  2008年   1篇
  2007年   1篇
排序方式: 共有8条查询结果,搜索用时 406 毫秒
1
1.
闫萍  陈立强  张殿朝 《半导体技术》2007,32(4):301-303,312
介绍了高阻真空区熔硅单晶的研制工艺,研制出了导电类型为p型,电阻率(3~5)×103 Ω·cm及(1~2)×104Ω·cm两种规格的真空区熔硅单晶,其中电阻率(3~5)×103Ω·cm规格单晶的研制除需要进行真空区熔提纯外,还要进行微量的p型区熔掺杂.单晶直径30~35 mm,晶向〈111〉.经检测无位错及漩涡缺陷,单晶的少数载流子寿命达到1500μs以上.  相似文献   
2.
闫萍  张殿朝  索开南  庞炳远 《半导体技术》2010,35(12):1186-1189,1221
在氩气气氛及真空环境下生长的高阻区熔硅单晶的径向少子寿命分布情况进行了检测.检测结果表明,在氩气气氛下生长的各种规格的高阻单晶,其少子寿命一般都在1 000μs以上,且径向变化大部分在10%以内,当生长工艺参数改变时,单晶少子寿命的径向分布规律虽然会有所不同,但对少子寿命径向均匀性的影响却几乎可以忽略.而在真空环境、不同工艺参数下生长的单晶,其少子寿命的径向分布及均匀性的变化则十分的明显,还会经常看到中心少子寿命400~500μs、边缘区域少子寿命高于1 000μs的单晶.本文在单晶生长试验的基础上,通过对产生这种现象的原因进行分析,确定了采用适当地降低晶体生长速率、提高加热功率的方法,可以使高阻真空区熔硅单晶中心区域的少子寿命的提高,并使其径向分布变均匀.  相似文献   
3.
多晶硅真空区熔提纯技术研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
对真空单晶用多晶硅真空区熔提纯技术进行了分析,通过理论实践相结合,对真空区熔提纯过程中的提纯速率、熔区长度、提纯次数以及其它工艺参数进行了分析,制定了获得目标电阻率、型号、直径的有效区熔提纯工艺。  相似文献   
4.
介绍了激光打标机的工作原理,并采用波长为1064 nm的光纤型激光打标机在硅单晶片上制作标识码。通过研究激光功率对打标深度的影响,确定了合适的激光打标功率为激光器总功率的50%~90%,同时,通过对激光标识码的位置进行了分析,确定了合适的激光打标位置,最终成功地在硅单晶片表面制作了激光标识码,解决了硅单晶片的可追溯性问...  相似文献   
5.
介绍了300 MW流化床锅炉的脱硫系统构成、工作原理及控制逻辑;通过对脱硫设备缺陷的分析和对设备的改造,克服了给料机堵塞现象;分析并总结影响脱硫系统运行和脱硫效果的因素。  相似文献   
6.
通过在Ar气氛及真空环境中进行的高阻区熔Si单晶生长实验,分析了晶体直径、晶体生长环境及晶体生长速率对晶体中微缺陷及少子寿命的影响及产生这种影响的原因.单晶生长实验表明,与在Ar气氛下的单晶生长相比,在真空环境下采用较低的晶体生长速率即可生长出无漩涡缺陷的单晶,而当晶体生长速度较高时,尽管可以消除漩涡,但单晶的少子寿命却有明显的下降.  相似文献   
7.
悬浮区熔法是生长硅单晶的重要方法之一,线圈形状作为主要的工艺参数直接影响能量分布并最终决定硅单晶的生长情况.通过有限元法对区熔硅单晶生长进行数值模拟,考虑二维轴对称情况下由高频线圈产生的电磁场对熔区产生的影响,主要对比分析了线圈上方有无台阶对单晶生长的不同影响.同时结合相应的试验结果及现象,得到了线圈台阶的引入提高了晶体成晶的质量.  相似文献   
8.
以内蒙古京泰火力发电厂1号机组为例,提出为提高机组自动发电控制系统和一次调频的性能及节能降耗,需对数字式电液控制系统阀门流量特性曲线进行优化和再调整.试验证明优化后机组在单阀/顺序阀切换过程中表现更平稳,负荷扰动更小,主汽温度、主汽压力等参数更为稳定,瓦温、振动、位移等均能够得到一定的改善,机组变负荷和一次调频能力得以增强,其运行经济性和控制稳定性有所提高.  相似文献   
1
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号