高能Ti离子注入H13钢强化机理研究

对高能Ti离子注入H13钢的强化机理进行了详细的研究。利用离子注入精确可控,掺杂不受固溶度和材料温度限制的特点,详细研究了H13钢中离子注入各种强化机理的作用。结果证明,用离子注入可将几种强化效果同时用于H13钢强化,从而得到最佳的强化     

先进的离子束热处理技术和工业应用

评述了离子束技术的发展和应用,特别针对离子束多功能综合加工技术的发展进行了评论.这种技术已经成为独具特色的热处理技术.该技术属于低消耗、高产出、高效率和无污染的绿色加工技术.评述了这一技术的未来发展方向.     

The modification behaviour for Si implanted PET

Polymeric solids have low density, high ability to form intricate shapes, versatile electronic properties and low manufacturing cost. However their uses are still limited by their inherent softness and unexpected dielectric properties. In order to enhance their electrical and mechanical properties, ion implantation techniques have been explored[1—3]. Recent studies have shown that ion implantation is very effective for improving surface properties of polymers such as surface hardness and wear…     

钼离子注入硅薄层硅化钼的合成

用大束流密度的钼金属离子注入硅，能够直接合成性能良好的薄层硅化物。随着束流密度的增加，硅化钼生长，薄层硅化物的方块电阻Ｒｓ明显下降，当束流密度为０．５Ａ／ｍ＾２时，Ｒｓ达到上值９０Ω，说明连续的硅化物已经形成。Ｘ衍射分析结果表明，注入层中形成了３种硅化钼Ｍｏ３Ｓｉ、Ｍｏ５Ｓｉ３和ＭｏＳｉ２。经过９００℃退火后，Ｒｓ下降至４Ω，电阻率可小到０．１６μΩ．ｍ，说明硅化钼薄层质量得到了进一步的改善。大束     

高剂量As注入单晶Si低温加热和高温电子束两步退火性能研究

本文研究高剂量As注入P-Si单晶,经过低温热退火和高温电子束扫描两步退火方式后的性能。用高压电子显微镜观察样品注入层的剩余缺陷,结果表明:只经过一步高温热退火或电子束退火的样品,剩余缺陷密度为10~3/cm~2以上,线缺陷长度为2-4μm,有位错环和位错网存在.两步退火后,样品注入层的缺陷密度降到10~7/cm~2量级,线缺陷长度小于0.5μm.位错网消失。     

N、Ti离子注入TiN提高硬度改善磨损的研究

N 和 Ti 注入 TiN 的射程和损伤已在本文中给出。N 和 Ti 注入 TiN 使其颜色发生了变化。试验结果表明,N 和 Ti 注入 TiN 均能使 TiN 的硬度增加.特别是 N 注入使注入层硬度提高更为显著.如5×10~(17)cm~(-2)的 N 注入 TiN,可使 TiN(此时 Ti/N 原子不再是1)的维氏硬度从2600提高到6000.为了分析 N 和 Ti 注入引起 TiN 硬度增加的原因,用 XPS 测量了 N 和 Ti 注入 TiN 所引起化学结构的变化。试验中观察到间隙 N 和 Ti2N 峰的出现.用扫描电镜观察了注入样品磨损后的形貌。据此讨论了 Ti 和 N 注入而引起 TiN 特性变化的机理。     

钨和碳双注入H13钢抗磨损和抗腐蚀特性

首次研究了钨和碳双注入对抗磨损和抗腐蚀特性的影响，研究了抗磨损和抗腐蚀相生成的条件，以及这些相对抗磨损和抗腐蚀特性的作用，并对其改进机理进行了讨论。实验结果表明，钨和碳双注入H13钢可注入层中形成超饱和的钨和碳原子浓度。因此在注入层中形成钨的碳化物WC和W2C相，合金相Fe2W和Fe2W6C等，这些弥散相不但可以使注入具有钨和碳单注入的特性，所以能进一步地提高H13钢的抗腐蚀性，随着W和C注入剂量的增加，抗磨损和抗腐蚀特性进一步提高，抗磨损特性可改善2倍，双注入样品抗腐蚀特性也有明显也提高，如样品W5C8的腐蚀电流峰值密度Jp经55个周期腐蚀后，其值是H13钢Jp的1／26.7-1/33.3，而钨样品C5W5经过88个周期腐蚀后，其值是H13钢的1／16－1／20。     

硼、砷双注入载流子浓度分布的测量及计算机模拟

本文研究了双极型器件中硼、砷双注入载流子浓度分布的规律,考察了双注入情况下两者的相互作用。为了模拟基区载流子的浓度分布,用一个指数衰变场来模拟基区载流子在E-B结处的下陷,用有效扩散系数模拟尾部的增强扩散效应.并调试了计算双注入的载流子浓度分布的程序.     

离子束技术在工业中的应用

离子束技术是不断发展和完善的新型技术，它的应用范围非常广泛，加工的对象种类繁多又千变万化，几乎包括整个材料科学的研究对象。这项技术的不断发展和完善，推动了材料科学本身的发展，在基础学科的研究上取得了许多新成果，在国民经济和国防上具有巨大的经济效益。所有这些都说明了离子束加工技术是独具特色的高新技术。