电液气控制工程实验平台的研究与构建

采用气液伺服技术,设计电液控制实验台,使学生了解气液压伺服控制的基本理论,掌握气液压伺服控制元件和系统的工作原理和特性.     

利用电子束掺杂技术制备微米、亚微米P－MOSFET器件

本文对辉光放电电子束在ＭＯＳＦＥＴ中的应用进行研究．结果表明，利用辉光放电电子束掺杂方法成功地实现了微米、亚微米Ｐ－ＭＯＳＰＥＴ．器件的漏流小，Ｉ－Ｖ特性好，源漏结浅、均匀和横向掺杂效应小．此方法与常规ＭＯＳ工艺兼容，所需的设备结构简单、操作方便，价格低廉，易于推广到ＶＬＳＩ中去．     

冷发射电子束掺杂磷

一种新的冷发射电子束掺杂方法已研究成功。这种方法可实现高浓度(C_(max)=2.8×10~(20)/cm~3),超浅结[(x_j)_(min)≤0.1μm],而且损伤比离子注入的小得多。用这种方法制备的太阳能电池控制器件性能很好。     

电子束辐照对InP（100）表面硫钝化的增强作用

采用含有过量硫的（ＮＨ４）２Ｓｘ对ＩｎＰ（１００）表面进行化学钝化和辉光放电电子束辐照处理，液氮下光致发光强度比未辐照的光致发光强度提高了１．５倍，比未钝化的提高了５倍．利用Ｘ射线光电子谱研究了电子辐照对ＩｎＰ表面硫钝化的影响．结果表明，硫钝化ＩｎＰ表面经电子束辐照可以促使Ｓ与ＩｎＰ中的Ｉｎ更好的化合．     

电子束掺杂的应用——高浓度浅结的形成

本文叙述了利用电子束掺杂技术形成的浅结,最浅达504(?),载流子峰值浓度大于1×10~(20)/cm~3,其衬底可以是低浓度的,也可以是高浓度的(小于或等于1×10~(19)/cm~3);并利用电子束掺杂技术试制成功硅平面晶体三极管,其性能良好,要使器件的各种参数更加完美,可以通过工艺调整加以实现。     

电液气控制工程实验平台的研究与构建

采用气液伺服技术,设计电液控制实验台,使学生了解气液压伺服控制的基本理论,掌握气液压伺服控制元件和系统的工作原理和特性.     

电子束掺杂磷

本文提出了一种新的半导体掺杂方法.将掺杂杂质涂敷在待掺杂的半导体表面,利用连续电子束辐照实现了掺杂.其结深可由电子束的参数调节加以控制. 对掺磷的电子束掺杂层进行测量分析,表明,N_P=3.5 × 10~(10)cm~(-3),层内N(x)的变化范围为 10~(12)-10~(20)cm~(-3),μ(x)为 57-130(cm~2/V·scc);低能电子衍射图案呈单晶衍射点和菊池线;沟道背散射测量电子束掺杂层损伤比离子注入的小得多.用这一掺杂法研制成功的平面二极管,性能良好.     

钻孔灌注桩技术在桥梁基础施工中的应用

本文结合某高速公路桥梁的实际情况,对钻孔灌注桩技术在桥梁基础施工中的应用进行了分析探讨。     

利用电子束掺杂技术制备微米,亚微米P—MOSFET器件

本文对辉光放电电子束在ＭＯＳＦＥＴ中的应用进行研究。结果表明，利用辉光放电电子束掺杂方法成功地实现了微米、亚微米Ｐ－ＭＯＳＦＥＴ。器件的漏流小，Ｉ－Ｖ特性好，源漏结浅、均匀和横向掺杂效应小。此方法与常规ＭＯＳ工艺兼容，所需的设备结构简单、操作方便，价格低廉，易于推广到ＶＬＳＩ中去。     

基于网格式支持向量机算法的转轴裂纹故障诊断

支持向量机(SVM)是一种对小样本决策具有良好学习性能的机器学习方法。常规SVM算法是从二类分类问题推导得出的,针对于故障诊断这种典型的多类决策问题,研究了一种网格式支持向量机多类算法,每个类别和其他2至4个类别之间采用常规SVM二值分类器进行分类,所需二值分类器总数少,可扩展性强。把转轴上不同位置的裂纹当作不同的故障,运用网格式支持向量机进行转轴裂纹位置故障诊断,结果表明该算法具有计算量小、诊断速度快、故障识别率高、容易扩展等优点,适合于较大规模的多类别故障诊断应用。