MEMS运动件的芯片外机械驱动方法

研究MEMS微结构的片外机械式驱动问题 ,介绍了在MEMS硅芯片背面贴合一块宏观尺度PZT片的驱动思想即PZT产生机械运动 ,在硅固定件与微运动件之间产生动量耦合 ,从而驱动微运动件。重点探讨脉冲驱动、振动驱动两大类基本驱动方法及其特点 ,介绍国外代表性研究结果 ,并提出对该方法进一步研究的观点与设想。     

MEMS运动件的芯片外机械驱动方法

研究MEMS微结构的片外机械式驱动问题,介绍了在MEMS硅芯片背面贴合一块宏观尺度PZT片的驱动思想即PZT产生机械运动,在硅固定件与微运动件之间产生动量耦合,从而驱动微运动件.重点探讨脉冲驱动、振动驱动两大类基本驱动方法及其特点,介绍国外代表性研究结果,并提出对该方法进一步研究的观点与设想.     

小型波导传感器单元技术研究

本文提出用梯度有效折射率平面波导形成小型波导传感器的方案 ,对关键单元技术进行了分析和实验 ,给出了结构参数测量结果     

硅基光子晶体板的光刻和反应离子刻蚀

用光刻和反应离子刻蚀的方法对硅材料光子晶体板的制作进行了研究。实验发现,与激光 直写曝光相比,光刻曝光更有利于胶上图形的陡直度。扫描电子显微镜测试表明,反应离子刻蚀后得到深3.3μm,晶格周期10.95μm,占空比50%的孔状光子晶体板结构,孔的陡直度保持较好,基本满足设计要求。     

双闪耀光栅的计算机设计与制作方法

提出一种用计算机设计制作的双闪耀光栅，是在闪耀光栅和双频光栅基础上发展起来的一种新型光学元件，是由微闪耀光栅列阵组成的、兼有闪耀光栅和双频光栅的优良特性。     

阵列波导光栅原理、制作工艺及其性能分析

阵列波导光栅(Arrayed-waveguideGrating，AWG)是密集型波分复用(DWDM)系统中的关键器件之一。本论述了AWG的原理及其制作工艺(主要是反应离子刻蚀和化学气相沉积)，分析了AWG的一些重要性能参数，提出了一些改进其性能的方法。最后，阐述了AWG在波长路由器、光上／下路复用器(OADM)、光交叉互连(OXC)等的应用。     

具有双极性的非相干OCDMA系统性能分析

提出了一种可减少多址干扰的非相干OCDMA编解码方案，该方案利用光开关控制2个单极性编码器和1个具有平衡互补结构的解码器，在1个光学信道上实现了双极性OCDMA信号传输；分析了电光编码、传输、解码、光电转换等环节的信号变化，推导出系统的噪声和误码率公式；与其它CDMA方案比较表明本方案在误码率方面可达到电域双极性CDMA系统的水平。     

集散控制系统在莱钢焦化厂1＃2＃焦炉中的应用

DCS（集散控制系统）代替独立仪表控制系统，可以将过程控制、监督控制和管理调度结合起来，实现测、控、管一体化。     

微透镜阵列显示技术研究

通过对微透镜阵列结构进行深入研究,揭示了微透镜阵列对微图形的放大原理。并在此基础上,找到了微透镜阵列结构参数、微图形结构参数与微图形阵列移动速度、移动方向以及放大倍率之间的关系,利用微透镜阵列实现了对微图形放大、动态、立体的显示。