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基于互相关算法的双波长共相检测方法在大量程共相误差检测中,存在检测速度慢、精度低的问题。针对该问题,利用卷积神经网络的方法建立拼接镜的平移(piston)误差预测模型,以实现双波长共相检测方法在大量程共相误差下的快速、准确检测。首先,将两波长下的圆孔衍射图像拼接作为卷积神经网络的训练数据。训练结束后,将包含piston误差信息的圆孔衍射拼接图像输入到训练好的模型中,可直接检测出piston误差值。仿真结果表明:基于卷积神经网络的共相方法具有高的检测精度、快的检测速度及较好的抗噪性和泛化能力。该方法为平移误差的测量提供了一种可行且易于实现的方案。 相似文献
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