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要保证测量光聚焦在待测表面,自动聚焦控制是非常重要的。文中给出了基于离焦检测的自动聚焦控制原理和技术实现,其聚焦灵敏度达0.1μm,聚焦范围0.5mm,频带宽度为40Hz。它为表面粗糙度干涉仪的高分辩率测量提供了保证,并为实验所证实。该技术具有很强的实用开发价值。 相似文献
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软X射线激光全息术采用短波长X射线激光光源,从而可获得空间分辨率很高的三维全息图,但目前它还存在许多问题。用计算机来模拟仿真提供了一种有力手段。本文采用方块、英文字母、汉字等作样品,对无透镜傅利叶变换软X射线激光全息术作了模拟仿真,其结果和可见光全息实验及理论都相符合。 相似文献
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以AFM测量的表面微观形貌为基础,采用数值仿真技术,定量地分析光探针直径对表面微观形貌测量的影响。结果表明:评定参数Ra,Rq,Ry,Rz,Rku以及平均轮廓斜率和最大轮廓斜率都随光探针直径的增加而减小,Rsm随光探针直径的增大而增大,而Rsk不随光探针直径单调变化。 相似文献
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SIMENSF500程控交换机维护终端梁嵘SIMENSF500是HICOM数字程控用户交换机所使用的一种维护终端。它是一种通用的、多功能的终端设备。充分发挥其功能,给维护工作带来不少方便。按TERMFUNC键即可进入该终端的修改终端参数状态,在这种状... 相似文献
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