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利用镓源二级透镜聚焦离子束装置在半导体基片上进行了一系列的无掩模刻蚀实验研究,在不同材料上刻蚀了各种图形,总结分析了不同参数的聚焦离子束对刻蚀的影响。 相似文献
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作为改善彩色显示器件屏边缘聚焦性能的一种措施,电子枪束形成区静态像散设计被各种高质量彩管所采用,由于其结构的非轴对称性,其定量的模拟计算和设计必须使用CAD手段。本文分析了彩管像散的形成原因,并用我们自行开发的CAD软件对两种彩管电子枪的静态像散结构进行了定量的计算。 相似文献
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微型CRT管“图形畸变”参量计算机测试需要解决系统分辨率难以满足精度要求的问题。本文对畸变扫描线特性进行了深入的分析,并对图像采集系统的误差引入进行了充分的讨论,提出了误差抑制的方法,突破了分辨率对获取高精度图形畸变参量的限制。 相似文献
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叙述了聚焦离子束离子光学系统中离子枪的优化设计,采用复合形法进行优化设计后的离子枪,其发射性能、光学性能和工作寿命都显著提高。 相似文献
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本文介绍了带电粒子束聚焦装置中样品图像的采集与显示系统,着重介绍了国产MCP的特点及其在信号接收中的应用经验,介绍了信号的放大与耦合,信号可同时送模拟显示器(CRT)和计算机显示,一次扫描便可获得很清晰的图像。 相似文献
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对Au-Si-Be液态金属离子源的发展进行了较详细的介绍,包括源的结构、发射特性,以及不同的合金配比、源工作温度、环境气体、系统真空度对源发射稳定性的影响。 相似文献
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