单片微型计算机在电子工业专用设备控制中的应用

本文通过对单片微型计算机性能及特点的分析,并通过几个已被用于专用设备控制的实例,阐述了MCS—48系列单片机在电子工业专用设备控制应用的可行性,而且对单片机的软件抗干扰措施进行了简单讨论。     

光刻胶处理系统

<正>半导体集成电路的大容量和高密度化异常惊人,以存储器为例,1M位的DRAM已经批量生产,而4M位的DRAM也有试制品发表。光刻技术是这些产品图形微细加工的关键之一。生产高密度器件要有高的成品率,就要提高膜和线宽的均匀性及无尘化等,所以要求改进光刻胶处理装置。在此介绍光刻胶处理装置近况并叙述今后发展的有关动向。