微功率电磁波透射式煤粉流量测量技术在粉煤加压气化装置上的应用

提出了一种基于微功率电磁波透射式气固两相流的流量在线测量技术,概述了该技术的测量原理及其在粉煤加压气化装置上的应用特点,介绍了基于该技术的国产SFM型煤粉流量计在Shell炉、航天炉等主流粉煤加压气化装置上的应用。实际应用结果表明,该技术解决了粉煤加压气化装置中密相气力输送的粉煤流量在线测量问题,产品测量结果稳定、可靠,使用安全、方便。     

周期性多孔低介电常数材料机械特性的表面波测量模型

研究了纳米通孔的分布对于表面波方法测量多孔低介电常数薄膜机械特性的影响,提出了用横观各向同性表征周期性多孔介质材料结构特性的表面波传播理论模型,给出了表面波在low-k薄膜/Si基底分层结构中的传播方程.通过数值算例揭示出表面波在不同传播方向的频散特性,以及low-k薄膜的弹性常数即杨氏模量E,E'和剪切模量G'对频散特性的影响.结果表明E'和G'在垂直于通孔的传播方向不能被测出.     

基于PCI总线的数码管现场显示控制卡设计

PCI总线是先进的高性能32/64位局部总线,易于实现高速实时的I/O口控制卡、通信接口卡。论文设计了一种基于CH365芯片的PCI总线控制卡,主要包括PCI接口芯片、单片机以及数据缓存单元;同时设计了基于数码管驱动芯片CH451的显示电路板,CH451并联应用,连接单片机控制信号,占用较少单片机引脚即可实现多路数据的显示。实验验证了基于PCI总线控制数码管现场显示的可行性。     

Young's modulus determination of low-k porous films by wide-band DCC/LD LSAW

Low-k interconnection is one of the key concepts in the development of high-speed ultra-large-scale integrated(ULSI) circuits.To determine the Young’s modulus of ultra thin,low hardness and fragile low-k porous films more accurately,a wideband differential confocal configured laser detected and laser-generated surface acoustic wave(DCC/LD LSAW) detection system is developed.Based on the light deflection sensitivity detection principle, with a novel differential confocal configuration,this DCC/LD LSAW system extends the traditional laser generated surface acoustic wave(LSAW) detection system’s working frequency band,making the detected SAW signals less affected by the hard substrate and providing more information about the thin porous low-k film under test.Thus it has the ability to obtain more accurate measurement results.Its detecting principle is explained and a sample of porous silica film on Si(100) is tested.A procedure of fitting an experimental SAW dispersion curve with theoretical dispersion curves was carried out in the high frequency band newly achieved by the DCC/LD LSAW system.A comparison of the measurement results of the DCC/LD LSAW with those from the traditional LSAW shows that this newly developed DCC/LD LSAW can dramatically improve the Young’s modulus measuring accuracy of such porous low-k films.     

Young’s modulus determination of low-k porous films by improved wide-band LG/LD SAW*

低介电常数介质互连系统是发展高速超大规模集成电路的瓶颈之一。为了更加准确的表征超薄、柔软、易碎的低介电常数多孔介质薄膜的杨氏模量,提出了一种改进的宽带激光激发、激光检测的声表面波(LG/LD SAW)技术。该技术基于光束微偏转敏感检测原理。采用新型的差分共焦检测配置,该技术拓展了常规激光声表面波技术的工作带宽,从而减弱了硬质衬底材料对检测声表面信号的影响,获得了被测超薄多孔低介电常数介质薄膜更为丰富的信息。因此,采用此技术获得的杨氏模量的测量结果更加精确。阐述了该技术的检测原理。并采用该技术测试了Si (100) 上的多孔二氧化硅薄膜。在常规激光声表面波技术的工作频段和该技术获得的高频段对实验获得的色散曲线与理论计算的色散曲线进行了拟合。对比这两个频段内的拟合结果表明,该技术极大提高了薄膜杨氏模量的测量精度,且适用于多孔低介电常数介质薄膜的杨氏模量测量。     

基于锁相放大技术的激光超声信号处理电路的设计

利用激光声表面波(SAW)技术对膜材料机械特性的测量(如杨氏模量、密度、厚度等)已得到了越来越广泛的应用。但激光激发激光检测声表面波(LG/LD-SAW)的频谱带宽较宽(达几百兆到GHz),一般的检测方法难以在如此高的带宽下对其进行检测。设计了一种基于锁相放大(LIA)原理的微弱信号处理电路,通过应用一特殊的去噪电路,能在很宽的频谱(GHz)范围检测微弱信号,并将其从噪声信号中提取出来。     

应用于激光超声检测的新型光偏转探测技术

针对现有激光超声薄膜杨氏模量测量方法,提出了一种新型的光束微偏转探测技术.该技术采用差分检测方法抑制了系统共模噪声;采用共焦结构增强了检测系统稳定性、减弱了环境扰动的影响.并阐述了此探测技术的工作原理.将其应用于激光超声薄膜杨氏模量测量系统,获得了声表面波在标准样品中的传播色散曲线.实验色散曲线与理论计算值的良好拟和验...     

周期性多孔低介电常数材料机械特性的表面波测量模型

研究了纳米通孔的分布对于表面波方法测量多孔低介电常数薄膜机械特性的影响,提出了用横观各向同性表征周期性多孔介质材料结构特性的表面波传播理论模型,给出了表面波在low-k薄膜/Si基底分层结构中的传播方程.通过数值算例揭示出表面波在不同传播方向的频散特性,以及low-k薄膜的弹性常数即杨氏模量E,E'和剪切模量G'对频散特性的影响.结果表明E'和G'在垂直于通孔的传播方向不能被测出.