大角度离子注入机控制系统软件设计

大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠。     

点云技术在±1100kV特高压直流输电线路高海拔地区带电作业中的应用

随着我国电网的快速发展,2019年全球电压等级最高的±1100 kV吉泉线投入运行.为给特高压直流输电线路带电作业开展提供技术支撑,在高海拔地区通过点云逆向工程建立数字三维铁塔,对点云数据与实际数据进行了核比;同时针对相关作业方法在数字三维铁塔上进行了安全距离校核.通过现场应用的成功开展表明,点云技术在±1100 kV...     

光学编码器在离子注入机中的应用

具有高度自动控制功能的离子注入机能够实现精确的测量晶片在片盒中的位置、控制晶片的装卸及晶片在靶盘上的定位等系列功能。光学编码器作为一种高精度的传感器是实现其机电一体化的关键部件之一。主要介绍了光学编码器的基本原理及其在控制系统中的应用，分析了其引起系统位置偏差及故障的原因。     

状态机在离子注入机中的应用

报告了在离子注入机控制软件建模时使用状态机的原因,以及控制软件的结构、状态机的层次结构和由状态机自动生成代码的方法,并介绍了应用状态机设计开发的离子注入机控制软件的优点。     

基于PID算法的输电线路无人机巡检路径智能自动规划技术

为降低定位误差，规避复杂环境造成的巡检风险，研究基于PID算法的输电线路无人机巡检路径智能自动规划技术。采用RTK定位技术，采集了输电线路无人机巡检标志点位置信息，利用路径生成方法，模拟无人机从起始点到目标点的最优几何路径，创建无人机高度和姿态直接受PID参数控制的动力学模型，运用基于PID算法的路径规划跟踪控制器，控制无人机按照最优路径飞行到目标点，实现了输电线路无人机巡检路径智能自动规划。实验结果表明：待巡检标志点定位误差始终低于0.25×10^-4;该技术规划的输电线路无人机巡检路径较短，能有效规避复杂环境造成的巡检风险。     

强流氧离子注入机装卸片控制系统

介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统,控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动,解决了晶圆在传送过程中的中心偏差校正和角度校正的问题,并最终实现了晶圆的全自动传送。     

氮窑氧含量巡回检测分析仪程序设计

介绍了一种新型的氧含量检测设备及其程序设计，描述了该设备中使用的监控程度设计算法，该算法吸收并改进了多种流行的监控程序编写算法，实践表明，该算法用于复杂菜单设计是可节约编程时间，减少存储空间的占用。