排序方式: 共有5条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1
1.
一、前言红外探测器采用等离子体增强化学汽相淀积(简称(PECVD)法制造钝化膜。在沉积过程中,由于淀积膜组分的差异、热应力的影响、膜层同基体的匹配差别,以及膨胀系数的不同等因素,会给膜层引入一定的应力。这种应力在某种程度上会引起位错的增生或运动,致使膜层产生形变,严重时甚至会导致膜层开裂。近年来,国内外文献中有关膜层应力测定的报告大致有四种主要方法:文献[1]的作者报告了以激光为光源的光学测量方法;文献[2]的作者提出了X光双晶衍射法;文献[3]的作者采用了扫描电镜观察的弯曲梁法;文献[4]的作者则在应用X光形貌相法。方法虽然各异,但 相似文献
2.
3.
4.
5.
本文叙述了应用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)技术,对InSb光伏器件的表面进行钝化。实验中采用正交实验的方法,选择了射频功率、反应气体的流量比、衬底温度等三种工艺因素,及其三个位级的变化所引起的对锑化铟器件上淀积的二氧化硅钝化膜的物理、化 相似文献
1