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用正交试验法研究铝等离子干蚀中几种重要因素对铝刻蚀速率及铝与胶的刻蚀选择比的影响,确定这几种因素对刻蚀影响的大小,并找出较估的刻蚀条件。 相似文献
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利用三维有限元法(3D FEM)分析了Ni柱型声子晶体对(110)ZnO/41°YX LiNbO3结构Love波器件声学特性(包括相速度、机电耦合系数和质量灵敏度等)的影响。结果表明,Ni柱的引入对所激发Love波性能的影响较大,Love波1阶模式阈值提前(激发1阶模式Love波所需的导波层厚度减小到0.05),机电耦合系数提高了约8%。同时,Ni 柱/(110)ZnO/41°YX LiNbO3结构Love波器件的质量灵敏度也得到改善,其Love波0阶和1阶模式的质量灵敏度较无Ni柱结构Love波器件分别提高了3倍和4倍。该研究结果为利用声子晶体结构实现高频声表面波器件的研制及其应用领域的拓宽提供了理论依据。 相似文献
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水声通道的信号处理过程中,通常会由于实际水声的环境复杂多变等对观测到的信号造成影响,这对后期目标定位以及识别检测等性能方面也会造成很大程度的影响。对于盲信号的处理技术能够不需源信号先验知识,通过接收信号以及某统计假设条件来获取期望信息。本文则主要就水声信号处理盲信号分离方法的理论进行详细研究,希望能够对实际操作有所促进。 相似文献
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