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新型氮化硅氢离子敏器件采用PECVD法淀积SiNxHy膜同时作敏感膜与二次钝化保护膜。改善了器件的密封性能;敏感灵敏度β=56 ̄60mV/pH,比用LPCVD法淀积的Si3N4膜提高14%,β的线性度有明显改善;响应时间也缩短一倍。 相似文献
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本文介绍了MNOS晶体管的存储特性,包括开关滞后特性、写擦特性、存储电荷保留特性和耐久性.提出了测量这些特性的一种有效方法,并给出了研制中的MNOS晶体管的测量结果. 相似文献
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本文对pH-ISFET恒流输出时漂特性进行了一系列实验研究,获得时漂随器件浸泡时间的变化规律,指出造成时漂的原因之一,是敏感膜水化层带有负电荷,使器件出现附加阈值电压△VT(t),而水化层厚度随浸泡时间而增加,造成△VT(t)的正向时漂,提出了器件阈值电压时漂的初步物理解释。 相似文献
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