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组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工工艺研究 总被引:2,自引:0,他引:2
建立了组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工装置,研究了有特定要求吸附针尖的规范化加工工艺,对得到的结果进行了分析和讨论。 相似文献
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几种微机械系统组装技术 总被引:3,自引:0,他引:3
简要讨论了微机械系统的三种组装技术,即玻璃吸附针尖,微夹钳和具有人手功能和微机械手,把第一,第二种技术有机结合是满足目前微机械系统组装需求的有效捷径。 相似文献
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路敦武 《激光与光电子学进展》1983,20(5):15
本文报导激光在具有能量为2~3千电子伏、电子密度为5×109~2×1010/厘米3、直径为1亳米的非相对论电子束散射方面的工作结果。为记录散射辐射使用了光子计数和示波法。实验上获得了散射辐射的波长与电子能量的依赖关系、确定了散射辐射偏振方向、测得了电子在电子束截面上的密度分布。 相似文献
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激光全息用于微电子领域发展潜力的简析 总被引:3,自引:0,他引:3
激光技术已广泛应用于微电子领域大规模集成电路生产的各个环节。本文以激光全息光刻、激光全息掩模和激光干涉成像光刻为切入点,对激光全息用于微电子领域的潜力作一分析。 相似文献
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光学粉尘浓度测量仪响应特性曲线的计算与分析 总被引:2,自引:0,他引:2
根据 Mie散射理论计算了 5种光学粉尘浓度测量仪的光散射响应特性曲线 ,对照呼吸性粉尘在人体呼吸道中的沉降效率曲线 ,对这些光学粉尘浓度测量仪的响应特性进行了分析。得出的结论是 :采用近前向型光散射结构、多波长照明光源和大孔径散射光收集系统的光学粉尘浓度测量仪 ,其响应特性曲线更接近于人体对呼吸性粉尘的采集效率 相似文献
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微机械构件组装技术研究 总被引:2,自引:2,他引:2
从取放微机械构件的方式,对观察系统的要求等方面对微机械构件组装技术进行了研究,并用所设计的组装装置进行了组装实验,得到了满意的结果。 相似文献
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