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采用液体作为光学器件元素,以微流控技术、电磁驱动技术及MOEMS技术相结合,提出一种新颖的可调光衰减器结构.通过电磁驱动装置控制衰减器中微流体的位置,实现光能量的可调衰减.以电磁驱动方式控制衰减器的调节,它的工作电压小、驱动行程大,且控制电路较为简单.该衰减器具有体积小、衰减范围大的特点,有利于光衰减器的集成化、微型化及制作. 相似文献
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