A型分子筛在苯、甲苯和环己烷中深度脱水的应用研究

采用K、Ca、Li和Mg元素对A型分子筛进行改性,在不同含水量的苯、甲苯和正己烷原料中进行脱水实验.结果显示原料中的含水量对分子筛样品的脱水效果具有较大的影响.高含水量的原料对吸附剂的要求较低,但脱除深度有限.但是只有Ca和Mg、K和Ca复合改性才能将原料中水含量脱除至1 ppm以下.     

第三代半导体用氧气纯化器的稳定性分析

阐述氧气纯化器达到PPB级别的工序原理，022Cr₁₇Ni₁₂Mo₂管道和阀门对指标稳定的影响，再生温度控制系统对氧气纯化器稳定运行的影响。