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引言 激光立体扫描曝光成像技术是利用短波长激光高强度光点,通用多坐标联动加工中心作为运动执行机构,配合计算机控制系统,直接在已涂覆感光抗蚀涂层的曲面金属镀层上进行扫描曝光、形成感光抗蚀掩膜图像的新型技术.  相似文献   
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