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硅—铝网栅亚毫米波F—P干涉仪及其在激光频谱研究中的应用 总被引:3,自引:1,他引:2
在单晶硅薄片上用光刻方法制作了铝金属网栅,并用在亚毫米波F-P干涉仪上。适宜用作亚毫米波波长的测量和频谱特性的研究。 相似文献
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普通的硅光电管,对红光和近红外光的响应度和稳定性方面显示了极大的优越性。但是它对于紫光和近紫外光的响应却很微弱。分析其原因可归结为:首先,硅的吸收系数大(4000(?)时约10~5cm~(-1)),短波光大部分在硅表面而不是在PN结区被吸收;其次,PN结深度太大(一般约2000(?)以上);此外,表面复合和扩散杂质表面浓度大,使扩散层缺陷多造成光生载流子复合损失大;最后,硅的表面反射系数大(4000(?)时约50%)。为了使得硅光电探测器在绿、兰、紫和近紫外区有较好的响应度,则要求这种结型光电器件的结做得非常浅,扩散杂质的表面浓度尽量低,使所谓“死区”尽可能薄。而常规的扩散工艺是难以实现的。本文报导采用激光诱导扩散的新技术研制短 相似文献
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