半导体设备运动轨迹规划及平滑停止算法

为满足半导体精密设备步进速度和精度的控制要求，步进运动轨迹应具备精度高、冲击小、速度快等特征。根据其运动轨迹特征，设计出四阶S型运动轨迹规划算法，但在实际应用中，一种轨迹规划通常并不能完全覆盖所有的使用场景。为实现能够根据实际需求提前停止的运动轨迹，在四阶运动轨迹基础上，通过使用轨迹拼接的方式设计出平滑停止算法。根据测试结果，四阶运动轨迹可以根据外部触发信号在任意时刻转为平滑停止轨迹，达到快速停止的目的，且轨迹不会产生额外的冲击力，确保了四阶运动轨迹原有的特征。