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一、引言 通径φ40毫米全金属密封闸阀是为强流短脉冲电子直线加速器的栅控电子枪与大气隔离而设计、研制的。电子枪的束流传输要求该问阀的厚度尽量薄,能直接通过电子束流。由于电子枪的烘烤排气和阴极分解激活的工艺要求,以及加速器真空系统需获得超高真空,要求该闸阀内部结构简单,能耐可靠,关闭时闸板的主密封对大气的泄漏率不大于10-9-10-10托·升/秒。配上这样闸阀的电子枪在制造的工艺过程中能获得很高的超高真空,并在靠闸阀与大气隔离而移出排气台后一段较长的时间内,枪内仍能维持相当高的高真空,已激活的复合阴极不致中毒,阴极发射… 相似文献
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本文叙述锆铝泵与离子泵结合在大功率行波谐振环路真空系统中的应用。锆铝泵的使用可明显地缩短离子泵的启动时间,并改进了微波系统的真空度。 相似文献
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激光陀螺增益管为玻璃封包的激光器件,内充比例一定的低压强 He3和 Ne混合气 体。He3的渗漏将直接影响增益和寿命.本工作用四极质谱计检测充He3的增益管向 高真空测试系统的渗漏所引起的 M3分压强增高与无增益管时高真空系统内本底的M3 分压强相比较来判定 He3渗漏的有无;并以 He4的标准漏孔作为参考,粗略地估算微 晶玻璃封包材料的增益管的He3渗漏率和渗漏常数。 相似文献
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