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含碳化物的硬质合金材料,是一种有用的刀具和耐磨材料。用热灯丝化学气相沉积的方法,在其上沉积金刚石薄膜,可进一步提高其耐磨性、切削性和使用寿命。采用了不同的表面预处理方法和沉积参数,在硬质合金底材上沉积出了均匀的金刚石薄膜。初步检验证明其样品有很高的硬度和附着力。 相似文献
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金刚石膜高能粒子探测器 总被引：3，自引：0，他引：3
评述了金刚石膜探测器的优缺点，简要地介绍了由化学气相沉积的多晶金刚石膜所制成的辐射探测器，以及利用此探测器对α粒子进行测量的初步结果。 相似文献
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由红外透过谱确定金刚石膜的光学常数及相关因素 总被引：1，自引：0，他引：1
结合金刚石膜的具体情况,考虑到色散效应、膜的微结构、表面粗糙度及样品中自由载流子和C-H的吸收等多种因素对红外透过谱的影响,在无吸收单层膜透过率模型的基础上进行了修正,给出了自支撑金刚石薄膜透过率的数学模型.并对不同制备方法和工艺参数下沉积的金刚石膜的红外透过谱用Levenberg-Mar-quardt算法进行非线性最小二乘拟合,从而确定出样品的红外光学常数和其它影响透过率的因素.这些结果对正确分析金刚石薄膜的红外光学性质是很重要的. 相似文献
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采用有限积分法(FIT算法) ,并利用一种简单的等离子体模型模拟了具有轴对称的微波等离子体反应腔中微波场与等离子体的行为。计算出了给定等离子体的空间分布时电场的分布情况 ,以及给定电场的空间分布时等离子体的分布情况 ,从而得到微波———等离子体反应腔中电磁场稳定分布以及等离子体的放电位置。并依据实验中的一些可变参数 ,寻求影响等离子体放电位置的参数 ,为设计化学气相沉淀(CVD)技术沉积大面积金刚石膜微波反应腔提供依据 相似文献
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绝缘材料聚酰亚胺薄膜的二次电子发射特性 总被引：1，自引：1，他引：0
孙亦宁 《真空科学与技术学报》1986,(2)
本文改进了二次电子收集的方式和结构。在测量手段上采用了双路瞬态单次脉冲记录方法。给出了对聚酰亚胺薄膜的测试结果,指出其发射特性遵从σ=1.08×1/E~(n-1)的关系,其中n=1.28。本文还计算了千电子伏能量电子在此薄膜中的阻滞本领、射程与能量的关系。还估计了二次电子的逃逸深度。 相似文献
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评述了金刚石膜探测器的优缺点，简要地介绍了由化学气相沉积的多晶金刚石膜所制成的辐射探测器，以及利用此探测器对α粒子进行测量的初步结果。 相似文献
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提高金刚石膜电阻率的几种方法 总被引：2，自引：0，他引：2
金刚石膜的电阻率是衡量金刚石膜性能的一个重要指标。由于各种因素的影响，沉积后的金刚石膜的电阻率比较低，还达不到实用要求，需要通过处理加以提高。介绍了几种后处理方法，并对其优缺点进行了比较。 相似文献