液体辅助激光加工硬脆材料及其应用

硬脆材料由于具有稳定的机械和化学性能、优良的光电特性等优势，在航空航天、光电工业等领域具有广泛的应用。激光加工由于具有高精度、高能量、非接触式加工等特点，是实现硬脆材料加工的理想技术。为了实现硬脆材料的去除加工，通常需要较高的激光能量，使得加工的结构精度较低，而且表面质量较差。本综述介绍了液体辅助激光加工技术在硬脆材料加工方面的研究进展，分别介绍了液相激光烧蚀、激光诱导背部湿法刻蚀和刻蚀辅助激光改性等三种液体辅助激光加工技术的原理，对比了各自的优势和不足，以及不同加工技术、辅助液体种类以及加工参数等对不同硬脆材料加工质量的影响，介绍了液体辅助激光加工技术目前主要的应用，最后，简要阐述了该技术存在的问题和未来的潜在发展。