一种用于生化传感检测的压电式行波微流泵的研究

为了减少生化传感器中样品的消耗,基于行波原理,本文设计了一种新型的压电式微流泵.首先,理论证明了行波的产生机理,并用流体仿真软件Fluent进行了验证;其次,设计并制作了锯齿沟道和直沟道两种结构的微流泵,在压电双晶片阵列的驱动下,测量了这两种微流泵在不同频率和电压下的特性.结果表明锯齿形沟道结构的压电式行波微流泵性能更...     

行波压电微泵的制作和测试(英文)

微泵是微流体芯片发展水平的重要标志.为提高微泵的工作性能,提出了一种新型行波驱动的压电微泵.在设计了不同的微管道结构(锯齿形微管道和直微管道)的基础上,对压电执行器和微管道进行仿真分析和优化设计.采用热键合工艺制作具有不同微管道的微泵,在不同频率的驱动信号下测定行波微泵的频率特性,同时也测量了微泵流速与背压的关系曲线以及电压幅值特性.相比于直管道微泵,锯齿形管道微泵具有更好的工作性能,在26 V驱动电压下,其最大平均流速和背压分别达到33.36μL/min和1.13 kPa.