一种设计真空紫外高反膜的新方法

在真空紫外强吸收波段采用"逐层"(LBL)设计法。通过阐述"逐层"设计的理论基础和膜材选择的基本原则,运用MatLab软件,用解析加复平面作图法设计了对应于50～200nm波段的高反膜系。以熔融石英基底上硅、碳组成的膜系为例,用这种设计方法获得的平均反射率最高可达64%。对比常规周期多层膜,这种设计法可以明显地提高强吸收波段的反射率。     

用逐层法设计Rh-Si真空紫外高反膜

本文简要阐述了"逐层"设计方法,并将其用于真空紫外波段高反膜的设计。利用Matlab软件编程设计,计算了50 nm~200 nm波段范围内高反膜系及其反射率。并与同样以熔融石英为基底、不同膜材组合所达到的膜系反射率进行了对比,反射率增大明显。同时计算了实验中出现膜厚误差时对反射率造成的影响。     

真空计的发展概况与趋势

真空计量器具被广泛应用于各科学实验领域,种类繁多,样式各异。真空计的微型化是其主要发展趋势。概述了真空计的发展历程,重点对近年来真空计的最新发展作了梳理,并提出了某些特殊环境下真空度测量方法的构想。