扩散真空泵性能自动测试系统的研制

本文介绍了一套新研制的扩散真空泵件能的自动测试系统.该系统可以按照国家标准规定的方法自动检测扩散真空泵的极限压力和抽速.系统利用自主开发的光电液位检测方法和元件实现滴管液位的自动读取和记时;利用步进电机驱动针阀实现气体流量和测试罩内压力的自动调节;使用上位PC机和下位单片机的双级控制系统实现对整个测试系统和测试过程的自动控制.     

气体分子以分子流态通过直圆管道时的位置分布计算

针对气体分子以自由分子流态通过一段直圆管道的问题,将分子划分为从入口直达出口的直通分子和经过管壁反射后到达出口或入口的反射分子这两种类型,分别建立了流动数学模型。从余弦定律出发,推导出两类分子穿越出口与入口截面的分子总数和密度分布函数的积分公式,以及反射分子在管道内壁面的沿程分布规律。定义评价数ν为管口截面上某点的局部分子密度与整个截面平均分子密度之比,给出计算式。数值计算结果表明,按均匀分布进入管道入口的气体分子,在飞离管道出口截面时呈现出中心密集边缘稀疏的"位置束流效应",如管长L=0.5d时,中心处νdA(0)=1.1353,边缘处νdA(0.5)=0.8313;而返回入口截面的分子却呈现出中心稀疏边缘密集的分布。这种趋势随管长增大而减弱,当L5d后趋于稳定。入口和出口截面的分子密度分布能够互补,两者叠加后恰好等于均匀分布。