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梁月云 《真空科学与技术学报》1982,(2)
直角式钛球升华器(图1)的这种结构设计,能方便地装入有冷却室壁的真空容器内。不论泵体是立式或卧式均可随结构要求灵活放置。最好是升华器轴线与泵体同轴,吸气面接受的钛原子轴向分布均匀而抽气效果也最好。钛球为T_(A1)钛板冲压成上、下半球后,,对合成为一个空心球壳。壁厚3毫米。钨丝单旋绕成φ16毫米、螺距为3毫米8匝的灯丝。 相似文献
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涡轮分子泵,钛升华泵各自对不同种类的气体有不同的排气性能。利用它们的特性来互相弥补彼此间的缺欠而获得低的极限压强和大的抽速。本文叙述了这种装置的设计方法和试验情况。从设计出发点至达到的预想效果都进行了较系统的介绍。该装置得到了满意的效果,获得10-11托的极限压强,对氮气或空气的抽速为3000开/秒左右,而对于氢气的抽速为1万升/秒。并对涡轮分子泵和钛升华泵联用的系统获得超高真空的方法进行了讨论。 相似文献
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