离子镀铝层组织与性能的研究

一、前言纯铝表面易于形成致密的、具有良好耐蚀性的氧化膜,但无法用湿式电镀法在工件表面上获得铝耐蚀层.离子镀的出现使铝镀层作为优异的金属材料防护层成为可能. 离子镀是D.M.Mattox于1964年提出的,被镀工件接数千伏负偏压,沉积室的真空度保持在10~(-2)～10~(-3)乇.铝镀层的沉积是     

离子镀铝V—P组织模型

本文用240°e型电子枪做蒸发源,在不同氩压、不同基板偏压时离子镀铝膜。系统地研究了基板偏压和氩压对铝镀层组织形貌的影响。建立了以基板偏压和氩压为变量的组织模型,定名为离子镀V-P组织模型。模型形状表明,在不同氩压下消除锥状晶、柱状晶所需基板偏压不同,氩压大于5×10~(-3)托时,随氩压的增加,消除锥状晶、柱状晶所需基板偏压逐渐降低。氩压小于5×10~(-3)托时,随氩压的降低,消除锥状晶、柱状晶所需基板偏压也逐渐降低,在5×10~(-3)托时存在基板偏压的极大值。作者认为V-P组织三维模型是基板偏压和氩压对铝镀层组织结构综合影响的结果。