微波电子回旋共振等离子体技术及其应用

微波电子回旋共振等离子体是淀积薄膜、微细加工和材料表面改性的一种重要手段。由于这种等离子体电离水平高,化学活性好,可以用来实现基片上薄膜的室温化学气相淀积和反应离子刻蚀,因此对于微电子学、光电子学和薄膜传感器件的发展,这种等离子体会具有重要的意义。此外,采用微波电子回旋共振等离子体原理,没有灯丝的离子源可以提高离子源的使用寿命,可以增加离子束的束流密度。可以确信,微波电子回旋共振等离子体的发展,将把离子源技术提高到一个新的水平。显然,这必将对材料表面改性工艺,包括离子注入掺杂等工艺的发展发挥作用。自从1985年以来,为了得到大容积等离子体而发展了微波电子回旋共振多磁极等离子体,这些技术在薄膜技术、微细加工以及材料表面改性中的应用前景是乐观的。我们将在本文中,介绍微波电子回旋共振等离子体的原理及其应用。     

DETERMINATION OF ELECTRON TEMPERATURE IN PLASMA VIA DEIONIZED PERIOD MEASUREMENT BY OPTOCAL DELAY METHOD

For the determination of electron temperature in plasma,this paper presents a method tomeasure the deionized period by optical attenuation during afterglow.The apparatus was a tube filled to 1mmHg helium with a probe for comparison.The results agreed with the values measured by the probe.Due tousing plasma radiation,one need not worry that the discharge space would be disturbed and the probe wouldbe contaminated by depositing discharge products,So it is a simple and convenient method.     

半导体激光器的自脉动与被动锁模

利用普适GaAlA3双异质结半导体激光器，观察到被动锁模现象。讨论了半导体激光二极管的自脉动、外腔中的诱导自脉动以及被动锁模间的区别与联系。     

外腔半导体激光器的模式锁定

利用光电反馈,观察到外腔半导体激光器的模式锁定现象。     

消电离时间法测定等离子体电子温度的研究

本文提出了一种测定放电消电离时间以确定等离子体电子温度的方法。给出了实验装置简图和实验结果。所得结果的数值与探针测量结果比较一致,表明这种方法是简易可行的。     

微波放电等离子体源的研究

利用电子迴旋共振(ECR)的原理,在10-310-1Pa的低压强下,已成功地产生了高活性,高密度的微波等离子体。运用静电探针装置,研究了N2、Ar放电中微波功率、气体压强对等离子体参量的影响,并对放电等离子体进行了质谱分析。     

微波等离子体技术在微电子学工艺中的应用

本世纪四十年代末期,人们就对微波放电进行了大量研究以适应当时大功率微波开关管的发展。六十年代中期,当高频(一般为13.56兆赫)放电技术在半导体工艺领域进行应用研究的同时,J.R.Ligenza等人就开展了用微波放电沉积薄膜的研究。七十年代初,日本日立公司、电电公社和日本真空株式会社开始对强磁场条件下微波形成等离子体技术进行了开发研究,并在1981年后陆续研制并生产了适用于刻蚀、沉积和离子注入的商品化装置。目前它们已经用于生产。本文将简略介绍强磁场条件下微波放电形成等离子体的物理特征及其在微电子学工艺中     

半导体激光器的自脉动与被动锁模

本文报导了外腔半导体激光器的诱导自脉动规律及被动锁模现象,并从物理机制上探讨了外腔诱导自脉动的规律,被动锁模和外腔诱导自脉动的联系与区别,以及外腔诱导自脉动转化为被动锁模的条件。     

外腔半导体激光器的模式锁定

用电流直接调制外腔半导体激光器可实现主动锁模,外腔半导体激光器在适当的腔长范围内可产生周期与光在外腔中往返时间相应的自脉动光输出现象,在适当的条件下自脉动可转化为被动锁模。将自脉动信号或被动锁模输出信号经光探测器转换成高频电信号后注入半导体激光二极管,实现了主被动自洽锁模。在频谱仪上观察到微波谱带宽变窄的模式锁定现象。微波谱带宽接近纵模线宽。脉冲宽度<200ps(受探测器响应时间的限制)。实验表明采     

微波干涉法测量等离子体密度的实验研究

目前,放电等离子体方法已经广泛地应用于微细加工技术中。近年来,在许多高要求的等离子体工艺中逐渐采用诊断等离子体参量来控制整个工艺过程。本文将简要介绍用微波干涉法诊断放电等离子体密度的实验研究结果,并给出了相应条件下探针诊断的结果。