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本文描述通过快速电磁阀门将气体注入到真空系统的实验。计算分析了气体进入系统时的流动状态。测定了B-A裸规和压电晶体阀门的响应特性。使用一简单供电电路,其脉宽为320微秒,就能使压电晶体阀门完成一次注气动作。  相似文献   
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