新一代全方位离子注入及增强沉积工业机

本文报告了核工业西南物理研究院最近研制开发的新一代全方位离子注入及增强沉积工业机。该机直径 90 0 m m,高 10 5 0 m m,立式放置 ,抽气系统由分子泵及机械泵构成并且实现了 PL C控制 ,本底真空小于 4× 10 - 4Pa。气体和金属等离子体可分别由热阴极放和三个高效磁过滤式金属等离子体源产生。真空室顶部预留了法兰口并配有冷却靶台。该机的负高压脉冲幅值为 10～ 80 k V,重复频率为 5 0～ 5 0 0 Hz,脉冲上升沿小于 2 μs,并且可根据需要产生脉冲串。一般地等离子体密度为 10 8～ 10 1 0 cm- 3,膜沉积速率为0 .1～ 0 .5 nm/s。文中亦报道了一些实验结果     

全方位离子注入及增强沉积工业机和应用

报道了等离子体源离子注入 (PSII)或等离子体浸没离子注入 (PIII)及增强沉积工业机的实验结果及应用。该机真空室直径 90 0mm ,高 10 5 0mm ,立式放置 ,抽气系统由分子泵及机械泵构成并且实现了PLC控制 ,本底真空小于 4× 10 - 4Pa。等离子体由热阴极放电或三个高效磁过滤式金属等离子体源产生 ,因此可实现全方位离子注入或增强沉积成膜。该机的负高压脉冲最高幅值为 80kV ,最大脉冲电流为 6 0A ,重复频率为 5 0— 5 0 0Hz ,脉冲上升沿小于 2 μs,并且可根据需要产生脉冲串。其等离子体密度约为 10 8— 10 10 ·cm- 3,膜沉积速率为 0 .1— 0 .5nm/s。     

碳含量对AISI304奥氏体不锈钢离子碳氮共渗性能的影响

对AISI304奥氏体不锈钢进行了不同C2H2含量下的离子碳氮共渗,利用金相显微镜、辉光放电光谱仪、x射线衍射仪和显微硬度计测试了经碳氮共渗处理后试样改性层的截面形貌、渗层成分、相组成和力学性能.结果表明低温下离子碳氮共渗可以同时获得性能好的γc相和γn相,且最大含量分别出现在不同深度;气氛中C2H2含量为3%时,渗层厚度最大,表面显微硬度最大.     

Influence of Temperature on Nitrogen Ion Implantation of Ti6Al4V Alloy

1. IntroductionTi6A14V alloys have been widely applied in various fields from aircraft components, chemical prrycessing facilities to medical implants, because of itsremarkable mechanical and chemical properties suchas high strength--toweight ratio and corrosion resistance [l]. Hoal.ever, its poor hardness and inferior wearing-resistance make the applicable scope ofthis material limited [2,31. There are a few reportson the effects of nitrogen ion implantation on hardness: wearing resistance, …     

A study of temperature effect on Ta+N ion-implanted hardalloy

1. IntroductionIon implantation being an effective technology forsurface modification has brought about Notable effects on the surfaCe hardness, wearability and corrosion resistance Of materials [1, 2l. However, themajor limitation to its wide use in industry i8 thatthe modlfied layer is very shallow, and llot suitableto many industrial aPplicatlons. Althougb the modi-fied l8y6r can be imProved by increasing the imPlant-ing energy, yet over-ranged X-ray 1nduced would beharmful to human heal…     

离子注入机及其在硬质合金工具表面改性中的应用

自70年代开始对金属进行离子注入以来,在改善金属材料表面物理、化学性能研究中,取得了很大进展,一些研究成果正逐步从实验室推广到工业生产。特别在机械耐磨损应用中,越来越多的适合工业生产的注入工艺和设备不断展现。     

核工业西南物理研究院的等离子体源离子注入技术研究

介绍了等离子体源离子注入装置PSII-EX原型机和PSII-IM工业样机,并对其功能、主要技术指标及特点作了简述。等离子体源离子注入处理后,一些材料表面机械性能(如显微硬度、耐磨性、摩擦因数及生物相容性等)的改善情况、改性层的微观分析及计算机     

三柱靶磁控溅射镀膜机在工艺品装饰镀中的应用

将三柱靶磁控溅射镀膜机应用于工艺品装饰镀生产中,开发多种镀膜工艺并进行了批量生产,实践证明:三柱靶磁控溅射镀膜技术结合特制的衬底漆和保护面漆涂装工艺,能够在工艺品上获得合格的装饰层.拓展该技术在工艺品行业的应用,可有效减轻传统电镀对环境的污染.